Attrezzatura di rivestimento per atomizzazione di chip ad ultrasuoni

Rispetto al tradizionale rivestimento a rotazione, il rivestimento fotoresist a spruzzo ad ultrasuoni presenta vantaggi nel depositare un rivestimento più uniforme, specialmente nella scanalatura ad alto rapporto di aspetto e nella struttura della scanalatura a forma di V, il rivestimento a rotazione centrifuga non può depositare un rivestimento uniforme lungo la parete laterale per formare un film, e lì non c'è troppo fotoresist depositato sul fondo della cavità.

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Apparecchiatura di rivestimento per atomizzazione con chip ad ultrasuoni da 100k

ultrasonic spray

Vantaggi del rivestimento dello stent a spruzzo ad ultrasuoni:

• Applicazione a spruzzo altamente controllabile e ripetibile.

• Tecnologia a ultrasuoni anti-intasamento.

• In grado di spruzzare in microlitri all'ora.

• Dimensione delle gocce di appena 9 micron (in uso) con distribuzione delle gocce molto stretta.

• Lo spray a bassa velocità aderisce alle staffe senza rimbalzare o spruzzare eccessivamente.

• Processo comprovato per il rivestimento di stent impiantabili e altri dispositivi delicati.

• Il rivestimento altamente resistente non si stacca.

• Esperienza con dozzine di rivestimenti in esecuzione su centinaia di sistemi

L'atomizzatore / macchina a spruzzo ad ultrasuoni è costituito da un generatore di ultrasuoni ad alta potenza e un convertitore di energia ad ultrasuoni, una testina di spruzzo in metallo ad ultrasuoni. Il generatore aziona il convertitore di energia per generare suoni ad alta frequenza (energia meccanica) e trasmette questa energia meccanica alla testa di nebulizzazione del metallo e utilizza l'energia ultrasonica di 15 KHz-50 vibrazioni KHz al secondo per sciogliere l'acqua o altri tipi di liquidi e convertire il liquido in liquido. Frantumare e disperdere istantaneamente per formare minuscole particelle da 0.1 micron a dozzine di micron, in modo da raggiungere lo scopo di umidificare l'aria, granulazione liquida, miscelazione, promozione di reazioni chimiche, spruzzatura, polvere di metallo fuso e così via.

Composizione dell'attrezzatura:

L'intera macchina è composta da un ugello di nebulizzazione ad ultrasuoni, un alimentatore di guida speciale, un servosistema di collegamento a tre assi, un sistema operativo intelligente, un sistema di alimentazione del liquido, un dispositivo di modellatura dell'aria a bassa velocità, guscio e scatola, ecc.

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Vantaggi:

Elevata copertura del film uniforme per vari profili di superficie.

La scanalatura con elevato rapporto d'aspetto può essere rivestita con elevata uniformità.

Spray non intasante.

Strati sottili di un solo micron possono essere depositati con elevata uniformità.

Provato processo di spruzzatura ripetibile.

Elevata uniformità: la spruzzatura ad ultrasuoni è una tecnologia di spruzzatura di precisione industriale ad alte prestazioni, utilizzata per un'elevata uniformità del rivestimento submicron e nano film.

Risparmio di materiale e protezione ambientale: poiché lo spruzzo a bassa pressione non è facile da controllare e il liquido cade sul substrato invece di rimbalzare dal substrato, può garantire che la quantità di spruzzo eccessivo possa essere ridotta in modo significativo e una grande quantità di materiale può essere risparmiato e le emissioni ambientali possono essere ridotte. Il tasso di utilizzo del rivestimento della spruzzatura ad ultrasuoni è più di 4 volte superiore a quello della tradizionale spruzzatura a due fluidi.

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Applicazione:

Per wafer MEMS e altri substrati con diverse morfologie.

Le apparecchiature a spruzzo ad ultrasuoni sono utilizzate principalmente in celle a combustibile, celle fotovoltaiche a film sottile, rivestimenti solari a film sottile, celle solari in perovskite, celle solari, rivestimento in grafene, celle fotovoltaiche in silicio, rivestimento in vetro, circuiti elettronici e altre industrie. La testina di nebulizzazione può essere applicata a varie soluzioni, anche le acque reflue, il liquido chimico e il muco oleoso possono essere nebulizzati.

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